- 마이크로/나노기전시스템제작및실습(Hands on Fabrication of MEMS And NEMS)
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- 주관 멀티스케일기계설계
- 카테고리멀티스케일기계설계
- 교과목번호 4461.541
- 학점 3
- 날짜2019-12-30 13:30:51
- 조회수479
멀티스케일 현상을 이용하는 전형적인 소자 및 시스템인 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) 및 NEMS(Nano Electro Mechanical Systems)를 직접 제작, 측정 하는 실험 및 실습과목이다. 나노 및 마이크로 현상을 이용하는 각종 공정의 원리 및 공정의 설계 방식을 습득하고 top-down 및 bottom-up 방식의 제작 중 전형적인 접근방식들을 실제로 구현하고 비교한다.