SEOUL NATIONAL UNIVERSITY
검색창 닫기
마이크로/나노기전시스템제작및실습(Hands on Fabrication of MEMS And NEMS)
  • 주관 멀티스케일기계설계
  • 카테고리멀티스케일기계설계
  • 교과목번호 4461.541
  • 학점 3
  • 작성자관리자
  • 날짜2019-12-30 13:30:51
  • 조회수479

멀티스케일 현상을 이용하는 전형적인 소자 및 시스템인 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) 및 NEMS(Nano Electro Mechanical Systems)를 직접 제작, 측정 하는 실험 및 실습과목이다. 나노 및 마이크로 현상을 이용하는 각종 공정의 원리 및 공정의 설계 방식을 습득하고 top-down 및 bottom-up 방식의 제작 중 전형적인 접근방식들을 실제로 구현하고 비교한다.

목록

수정요청

현재 페이지에 대한 의견이나 수정요청을 관리자에게 보내실 수 있습니다.
아래의 빈 칸에 내용을 간단히 작성해주세요.

닫기