교과목소개

본 과목에서는 미세구조 물질, 소자, 장치 제조 및 작동에 관련된 기계공학적 원리들을 공부한다. 마이크로-나노 구조 물질 제조와 관련된 열공학, 유체공학적 원리를 학습하며 그 응용을 습득한다. 미세구조의 소자 및 장치의 설계와 가공과 관련된 기계공학적 원리를 공부하며 여러 응용 장치등을 학습한다. 마이크로 나노 장치와 관련된 측정원리와 방법의 학습도 포함된다. 기계공학적원리 이외에 마이크로-나노 구조의 실현에 필수적인 여타의 공학적, 과학적 문제들과 원리들을 소개한다.