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교과목소개

마이크로나노 가공생산(Micro-nano Manufacturing)
  • 교과목번호 M2794.013600
  • 학년 4학년
  • 학점 3
  • 작성자관리자
  • 날짜2020-01-03 01:56:22
  • 조회수809

제품의 소형화(miniaturization)는 현재 배경이 다른 여러 분야(IT, BT 등)에서 요구되는 기능적으로 다양한 기술이나, 그 생산기법은 각 분야를 뛰어넘는 공통성을 가지고 있다. 본 강의에서는 기본적인 마이크로, 나노스케일의 가공생산 공정기술을 학습한다. 세부적으로는 리소그래피, 에칭, 박막 증착, 평탄화 공정 등의 다양한 미세공정기술과 이들의 기본 동작 원리를 학습한다. 이를 응용하고 결합하여 복잡하고 미세한 구조 제작을 위한 공정을 설계한다. 또한, 상업적으로 성공 또는 성공 가능성이 있는 다양한 제품의 실례를 중심으로 강의를 진행한다.

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