1. 제 목 : 기계공학과 반도체 산업





2. 연 사 : 홍 주 표 박사


(삼성전자 반도체총괄 메모리 사업부 설비개발팀)





3. 일 시 : 9월 2일 (목) 3시~4시





4. 장 소 : 301동 1512호 세미나실





5. 내 용 :


반도체는 자동차와 더불어 우리나라의 대표적인 산업이라 할 수 있다. 그러나, 기계공학 전공자들이 반도체 산업에 기여한 부분은 자동차 산업 대비 미미한 것으로 사료되며, 이는 전공의 산업 친밀도와도 관계가 있는 것으로 보인다.


본 발표에서는, 실제 산업 현장에서 이용되고 있는 반도체 공정 장비 소개를 통해, 공정 요구 특성 및 생산성을 만족시키기 위해 장비 입장에서 고려되어야 할 사항에 대한 이해를 돕고자 한다. 요구되는 공정 특성은 design rule의 축소 경향에 의존하며, 이 때마다 새로운 공정 특성을 구현하기 위한 새로운 장비가 개발되어 왔기 때문에, 반도체 공정 road-map의 이해 또한 필요하다. 설비 생산성 측면에서는 장비


내부에서의 이송 장치, 공정 장치의 효과적인 설계 및 분석 기술 등 접근 방향을 논의했으며, FAB 단위 생산 관점에서 FDC 및 APC 현황을 소개하고, 각 단위 공정 허용 범위와 설비 허용 오차 사이 관계의 분석 및 해석에 대해서도 언급하고자 하였다. 현재의 국내 반도체 산업은 반도체 설계 및 공정 측면에서 기술 축적이 이루어져 인적/물적 자원이 풍부한 편이나, 반도체 생산을 가능케 하는 공정 장비 및 측정 장비 측면에서는 해외 업체 의존도가 높고 상대적으로 빈약한 인적네트워크를 보이고 있다. 학계에서는 최근 진행되는 MEMS/NANO 관련 기초 공정 및 설계 측면에서의 접근 방법 외에도, 설비/측정/생산 측면에서의 접근 방법에 대한 논의도 진행되어야 할 것으로 생각된다.





6. 약 력 : 1994 서울대학교 기계설계학과 졸업


1996 서울대학교 기계설계학과 석사


2000 서울대학교 기계항공공학부 박사





7. 문 의 : 기계항공공학부 오수익 교수 (☏7151)


기계항공공학부 미세성형연구실 김기현 (☏7146)