1. 제 목 : 나노소자 연구에서의 전자빔 식각기술 응용





2. 연 사 : 김규태 교수(고려대 전기공학과,조교수)





3. 일 시 : 2003년 11월 21일 (금) 16:30 - 17:30





4. 장 소 : 서울대 신공학관(301동) 1512호 세미나실


한양대 공업센터 4층 세미나실 (화상강의로 진행)





5. 내 용 :


나노스케일 소재 및 소자에 대한 연구가 활발해짐에 따라 전자빔 식각기술과 같은 기존 반도체 공정에 대한 관심이 보다 증폭되어 식각기술 자체에 대한 필요성과 이해가 많이 요구되고 있다.


나노선을 이용한 나노소자 연구, 분자전자소자 연구 등에서 나노스케일 전극형성에 있어서 전자빔 식각기술은 여전히 많이 쓰이고 있다. 전자빔 식각기술에는 전자빔의 위치와 노출시간을 제어하여 원하는 노출정도로 맞추어 주는 전자장치, 패턴을 해석하여 전자장치에 보내주는 프로그램, 전자빔을 만들어주고 조사하는 전자현미경과 같은 진공장치, 패턴형성을 위한 기판과 패턴형성에 필요한 마스크 역할을 하게되는 PMMA (Poly(methylmethacrylate))와 같은 전자빔 레지스터 등에 대한 종합적인 이해가 필요하다. 본 발표에서는 전자빔 식각기술의 원리와 구성기술간의 관계, 나노스케일 소자제작에의 응용 등에 걸쳐 소개하고 장단점, 기술의 한계 및 문제점 등과 앞으로의 발전방향에 대해서도 논의를 할 것이다.





6. 약 력 :


1988.3.~1992.2 서울대학교 물리학과 학사


1992.3.~1996.2. 서울대학교 물리학과 석사


1996.3.~2000.2. 서울대학교 물리학과 박사


2000.2. 서울대 BK21 물리연구단 대학원생 우수연구상 an honor prize


2000.1.~2000.7. LG 전자기술원 유기EL팀 연구원


2000.7.~2000.9. ㈜ 이지서킷닷컴 선임연구원


2000.9.~2002.2. 독일막스플랑크 연구소 박사후 연구원 (Humboldt Fellow)


2002.3.~현재 고려대학교 전기공학과 조교수


2003.4. 미국재료학회 Session M. Nanotube Devices 조직위원





7. 문 의 : 기계항공공학부 김용협 교수 (☏ 880-7385)


서울대 BK21 기계분야사업단 행정실 (☏ 880-7132)





8. 기계분야 박사과정 세미나 수업 수강생 여러분들은 필히 참석해 주시고, 기타 관심있는 분들의 많은 참여를 부탁드립니다.