1. 제 목 : 마이크로 액츄에이터의 제작 및 응용





2. 연 사 : 황 규 호, (주) M2N 대표이사





3. 일 시 : 2002년 4월 19일 (금) 14:00 - 15:00





4. 장 소 : 서울대 신공학관(301동) 1512호 세미나실





5. 내 용 :


최근 MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) 또는 NEMS (Nano-Electro-Mechanical Systems)기술은 단순한 기반기술 개발의 수준을 넘어서 다양한 분야에 응용되어 본격적인 상업화의 길로 들어서고 있다. 국내에서도 그동안 국가정책사업과 대기업을 중심으로 R&D활동이 진행되었고 불과 1-2년 사이에 Optical, RF, Bio등 다양한 분야의 MEMS관련 벤쳐기업들이 탄생하였다. 수많은 제품에 적용된 MEMS device를 크게 둘로 분류하면 micro-actuator와 micro-sensor이다. 본 세미나에서는 micro-actuator에 기반을 둔 MEMS device의 시장, 동작원리, 설계, 제작 및 성능평가 등에 대하여 몇 가지 실례를 중심으로 소개하고자 한다. 특히 압전현상을 이용한 압전박막 actuator의 특성과 응용가능성에 대해 논의하고자 한다.





(1) Projection Display 응용사례:


(2) 광통신 부품 응용사례:


(3) actuating nano-probe 응용사례








6. 약 력 :


1990 서울대학교 공과대학 금속공학과 졸업 (공학사)


1992 서울대학교 공과대학 석사학위 취득 (공학석사)


1996 서울대학교 공과대학 박사학위 취득 (공학박사)


1996 - 1999 대우전자 Advanced Display & MEMS Research Center 선임연구원


1999 - 2000 대우전자 TMA사업부 책임연구원


2000 - present ㈜M2N 대표이사





7. 문 의 : 기계항공공학부 김 용 협 교수 (☏ 880-7385)