서울대학교 공과대학 기계공학부 이승아 교수가 이끄는 ‘SNU-Caltech 반도체 검사·계측 혁신연구센터’가 과학기술정보통신부의 2026년도 ‘탑-티어 해외우수연구기관 간 협력 플랫폼 구축 및 공동연구 지원사업’ 신규 과제로 선정됐다.

센터에는 서울대와 미국 캘리포니아공과대(Caltech)를 비롯해 KAIST, 미국 UC Berkeley, 스위스 Paul Scherrer Institute(PSI)가 참여한다. 과제는 과제당 연간 23억 원 규모로 10년간 지원되며, 국내 연구책임자는 이승아 교수, 해외 연구책임자는 Caltech 의공학·전기공학과 Lihong Wang 교수다.





그림 1. 2026년도 해외우수연구기관 협력허브구축사업 선정 결과 (자료: 과학기술정보통신부)

🔹초미세 반도체 구조와 결함을 비파괴 방식으로 계측

SNU-Caltech 반도체 검사·계측 혁신연구센터는 미래 반도체의 3차원 구조와 내부 결함, 물성을 정밀하게 분석할 수 있는 초고해상도·초고속·고신뢰성 비파괴 계측기술 개발을 목표로 한다. EUV부터 근적외선까지 다양한 파장대의 광학 영상, 초고속 레이저 분광, 양자광원 기반 측정, 인공지능 영상복원 및 결함 검출기술을 결합해 파괴검사에 가까운 정확도와 높은 검사 처리량을 동시에 확보할 계획이다.

또한 계측 결과를 반도체 공정 데이터와 연계해 공정 이상과 결함을 조기에 탐지하고, 공정 조건 개선과 품질 안정화에 활용하는 AI 기반 분석체계를 구축한다.

🔹Caltech와 국내외 연구진의 전문성 결집

Caltech에서는Lihong Wang 교수를 중심으로 양자광학 기반 초정밀 영상, 초고속 영상, 물리 기반 인공지능 분야의 연구역량을 제공한다. 계측 데이터와 물리모델을 결합하는 AI 기반 분석기술 개발에 참여하고 미래 측정 기술인 양자 광학 기반 계측 원천 기술을 개발한다.

서울대에서는 기계공학부 박상욱·김태용 교수, 전기정보공학부 전세영 교수, 물리천문학부 박홍규 교수가 참여하여 정밀 광학 계측, AI 기반 결함 검출, 양자 광원 기술 등을 개발한다. KAIST와 UC Berkeley는 EUV- 근적외선 영역의 현미경, PSI는 EUV 공정과 정밀 계측 분야를 담당한다.

🔹국제공동연구와 인력양성 추진

탑티어 사업은 국내외 최고 수준의 연구기관과 공동연구, 인력 교류, 정보교환 등 포괄적 국제협력으로 중장기적이고 지속 가능한 협력 플랫폼 구축을 지원한다. 해외 우수 연구 공동체와 세계 최고·최초 수준의 선도 기술을 개발하고, 기후 위기·전염병 등 글로벌 공동 문제 해결을 목표로 한다. 이번 선정 연구센터는 서울대와 Caltech 간 연구협의체 운영, 해외 연구그룹 장기초청, 국내 연구자의 해외 파견 등을 통해 공동연구와 인력양성을 추진한다. 10년간 요소기술 확보와 핵심기술 고도화, 실제 웨이퍼 수준의 검사 검증을 단계적으로 수행해 대면적 비파괴 계측 플랫폼 구축을 목표로 한다.



[참고자료]

- 과학기술정보통신부 보도자료, ‘세계 최정상 수준의 연구를 위해 국내·외 연구기관 손잡는다’, 2026. 8. 4. https://www.msit.go.kr/bbs/view.do?sCode=user&mId=307&mPid=208&pageIndex=&bbsSeqNo=94&nttSeqNo=3187620&searchOpt=ALL&searchTxt=

- 동아사이언스, ‘반도체검사·양자신소재 등 해외 연구협력 컨소시엄 10년간 지원’ https://www.dongascience.com/ko/news/79258

- 뉴시스, ‘서울대·포스텍·DGIST·KAIST, 해외 유수 연구기관과 10년 공동연구’ https://www.newsis.com/view/NISX20260804_0003735283